Neue hochempfindliche pyroelektrische lineare Arrays für die Infrarot-Spektroskopie

Pyroelektrische lineare Arrays PYROSENS von DIAS Infrared eignen sich hervorragend für den Einsatz in dispersiven Sensorsystemen zur Analyse chemischer Substanzen. Durch ihre ausgezeichneten Eigenschaften wie ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis, sehr geringe Drifteffekte und Empfindlichkeit in einem weiten Spektralbereich sind lineare Arrays auf der Basis von Lithium-Tantalat besonders attraktiv.

In den letzten Jahren erfolgten zahlreiche Weiterentwicklungen um den Anforderungen der Spektroskopie bestmöglich zu entsprechen. Bei einem Elementmittenabstand von 100 µm (128 Elemente), 50 µm (256 Elemente) oder 25 µm (510 Elemente) wurde die Pixellänge auf typisch 500 µm vergrößert. Durch Reduzierung der Elementdicken auf Werte um 5 µm mittels moderner Ionenstrahl-Ätzverfahren konnte die Rauschäquivalente Strahlungsleistung (NEP) signifikant verbessert werden. Eine zusätzlich strukturierte dünne NiCr-Absorberschicht erhöht die Strahlungsabsorption und realisiert ein gleichmäßig spektrales Verhalten. Das thermische Übersprechen zwischen den Elementen wird erheblich reduziert durch Trenngräben, die ebenfalls durch Ionenstrahlätzen hergestellt werden. Diese Trenngräben gestatten den Einsatz der linearen PYROSENS Arrays auch bei niedrigen Modulationsfrequenzen (z.B. 10 Hz). Das führt zu sehr geringen NEP Werten, also besonders guten Signal-Rausch-Verhältnissen.

Auf der Basis dieser weiterentwickelten Arrays lassen sich in Verbindung mit den linearen Verlaufsfiltern sehr kompakte und empfindliche dispersive Sensorsysteme aufbauen.
Für nähere Informationen besuchen Sie uns bitte auf der Messe Sensor+Test im Messezentrum im Messezentrum Nürnberg (Stand 5-528) vom 30. Mai bis 1.Juni 2017. Unser Spezialist Dr. Reinhard Köhler steht Ihnen persönlich zur Verfügung.